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(1) 一致性
氮质谱检漏仪精度很高，几乎不存在操作者之间的人为误差。如果检测结果不同，其原因可能是由于没有掌握检漏仪的灵敏度和响应时间，或者是由于探头移动方法不同引起的。
(2)稳定性
该法的稳定性主要取决于氦气检漏仪本身的稳定性。维修保养的好坏对仪器的稳定性影响很大。如检测部位被弄脏，吸嘴堵塞和放大系统的不稳定可造成检捕仪工作不稳定，如认真检查，例如经常用标准漏管检查灵敏度和应答时间，是可以防止的。
(3)可靠性
氦气在空气中的质量分数很小，约为5ug/g，且比空气轻，易于在空气中扩散。所以，在检测时很少形成漏检，检漏可靠性很高。
(4)经济性
氦气检漏仪是一种高精密仪器，仪器本身和使用的氦气都较昂贵。但是，氦气检漏仪在压力检漏法和真空检漏法中都能使用，而且灵敏度高、响应时间短、稳定性好、可靠性高、检测结果精确。为了解决气体用量问题，有两种方法可供选择：一是用空气稀释，这样做虽然会降低灵敏度，但由于该方法灵敏度本来就很高，即使降低一些，也能满足一般的检漏要求;二是使用回收装置对氦气进行回收。氦质谱检漏法主要用于需准确地检测微小泄漏率的场合。
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