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紫外光源可用石英汞灯。为提高对比度，可采用滤光放大镜，将光源的其他光线滤掉，而只允许紫外线通过，并起到聚光和放大作用，以便观察。选用荧光材料时，应尽量使荧光粉发光颜色与被检件的本底颜色有较高的反差，以免出现错误信号。其主要缺点是等待时间较长。如果在抽空或加压条件下浸泡，不仅可大大缩短浸泡时间，而且还能得到更好的效果。该法已被推广用来检查铸件、模压金属件、焊接件等裂纹。代替了检漏仪不足的地方。
荧光检漏法是一种利用荧光材料的发光作为漏孔指示的无损检漏法，多用于小型真空器件的检漏。可以解决密封器件一旦从排气台上封离下来，就无法再用任何高灵敏度的检漏仪器进行检漏的问题。其检漏过程是先将荧光材料(如蒽)溶于浸润性能好，易挥发的有机溶剂(如丙酮、三氯乙烯、四氯化碳等)中，使之成为饱和溶液;然后将被检件的外表面浸泡到该溶液中，或用该溶液涂抹被检件外表面。如有漏孔存在，溶液就会因毛细作用渗透人漏孔中并将荧光材料携带进去;清除表面多余的液体，待有机溶剂挥发后，荧光材料便在漏孔中残留下来;用紫外线灯光照射，当有漏孔时，便可观察到明显的荧光点，从而可判定漏孔的存在。由于盲孔及其他不漏气的表面缺陷也会残留荧光材料，因此对玻璃壳的电真空器件，最好在背面进行观察，用紫外线灯在另一面照射。
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