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从检漏仪行业了解到，高频火花检漏仪的检漏方法主要有火花法、放点法。
(1)火花法。火花法只适用于玻璃系统或器件的检漏。检漏时，用放电尖端搜寻漏孔。若没有漏孔，放电尖端产生的火花束在玻璃表面不规则的跳跃，并向四周发散;遇有漏孔时，因大气经过漏孔进入真空系统，当放电尖端移到漏孔时，就将该气流电离，被电离的气体的导电率远大于玻璃的导电率，所以分散的火花束就集中起来形成一个细长明亮的火花束，其尾端正好指向漏孔。这样便可判断被检系统或器件是否有漏孔及漏孔所在位置。
(2)放电法。放电法既适用于检漏玻璃系统，也可用于检漏金属系统。但检漏金属系统时需借助于玻璃规管或盲管。放电法是利用低真空中气体放电的颜色进行检漏的。当检漏仪放电尖端的火花打在真空度为几千~1Pa真空系统的玻璃壁上时，因感应会使系统内气体产生辉光放电。放电颜色与气体种类有关。检漏开始时，系统内是空气，其辉光呈紫红色。此时，若用蘸有乙醚、酒精、丙酮、汽油或其他一些易挥发的碳氢化合物的棉花在系统外表涂擦或喷射时，如有漏孔，则乙醚等蒸气会通过漏孔进入系统，立刻使辉光颜色变成蓝色，据此可以判定是否有漏孔及漏孔所在位置。
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