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气敏半导体检漏仪采用压力法检漏，检漏装置。检漏时，将被检件内部充以一定压力的可燃性气体，用检漏盒罩住被检件外部的可疑部位。如果被检件被罩住部位有漏孔，则示漏气体便进入检漏盒中。此时打开阀门3，关闭阔门2，那么示漏气体就会在检漏盒中积累起来。
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气敏半导体检漏仪可以直接在大气压下工作，其浓度灵敏度为1%;也可以抽空到几千帕，但抽真空后仪器灵敏度反而下降。作为示漏气体的可燃性气体普遍存在爆炸极限，使用时一定注意安全，严防明火。
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