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对于目前国际上常用的检漏仪方法，氦气　检漏仪法被公认为最先进可靠的方法之一。消除了水泡检漏法检漏灵敏度低、判断较为困难、误判较多的缺点；也消除了卤素检漏法易受干扰、维护费用较高的缺点。氦气检漏具有以下优点：

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检漏灵敏度高、准确、清洁无腐、不受干扰、显示直观明确等。工作原理：对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦质谱检漏仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦质谱检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回　气密性检漏机收。