氦质谱检漏仪电气部分的核心是质谱室的供电与测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。磁偏转型的质谱室及其电气方框图,它主要包括如下几个部分: (1)小电流放大器及输出装置。由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流非常小,必须经放大才能输出显示。经交流放大器放大调制后的离子流.输出信号分别由显示仪表和声响装置(扬声器)指示。 (2)低频发生器。低频发生器产生频率为5~7Hz,振幅为14~16V的调制电压,该电压叠放在加速电压上,实现对离子流调制。 (3)高压整流器及发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流,从而保持灯丝发射电流稳定,以提高灵敏度。发射电流可分几档进行有级调节,以改变仪器灵敏度。 (4)高压整流器供给冷阴极磁控规电源。真空规放电电流指示气体压力值并由仪表显示,其放电电流还作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时,放电电流增大,使继电器动作,随之切断灯丝加热电流,保护灯丝不被烧毁。 |