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测漏机_磁偏转真空氦质谱检漏仪的应用
时间:2014-08-28 14:49 点击:
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磁偏转真空氦质谱检漏仪的应用

  在建立一个真空系统的过程中,系统的检漏是一个重要环节。常采用检漏仪进行检漏,不过真空检漏的方法很多,但迄今为止,较为有效的方法是磁偏转真空质谱检漏技术。所谓质谱就是按照物质的质量与电荷的比值(质荷比)顺序排列成的图谱。所谓质谱仪就是利用电磁学气密性检测仪原理使离子按质荷比进行分离,以实现物质的成分与含量分析的仪器。对稀薄气体或真空中残余气体做质谱分析的仪器又称为真空质谱仪,它不仅可以分析微量气体的组分,而且可以通过检测特殊气体(如氦)的含量进行检漏。质谱技术从19世纪末发展到现在,已广泛地用于工农业、地质、环保、空间技术等领域,并成为一种不可缺少的分离分析工具。

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