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氦质谱检漏仪离子源由灯丝(阴极)、灯丝槊、离化室及离子加速极组成。它的作用是使气体电离，形成一束具有特定能量的离子。尽管结构多种多样，但最主要还是尼尔型离子源。灯丝为直径0.18~0.20mm的钨丝，通过灯丝架被准确安放在离化室电子人口上方约0.5mm处，它通过直接加热而发射电子。离化室是一扁平的矩形盒子，其顶部和侧面各开一个狭缝，分别供热电子射人和离子引出之用。离化室与灯丝之间加200V的电离电压，在该电压下，热阴极发射的电子能将离化室中的气体电离。离化室与离子加速极间加300~400V可调电压，即为加速电压，加速离子使之穿过离子加速极正面的矩形缝隙进入磁分析器。若用交流放大器放大离子流时，离化室与加速极之间还叠有5~7Hz、15V的交流调制电压。氦质谱检漏仪离子加速极位于离化室正面约5mm处与外壳相连接地。
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