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制造需要密封的小型部件时，可将氮气、氟里昂和放射性气体等示踪气体封入部件内部，然后再用检漏仪检测封入的气体是否漏出。
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示踪气体可以在加压状态下封入，检测向大气中的泄漏，也可在常压下封入，在周围抽真空检测。
如果被检部件的泄漏率很小，采用这种方法很难检测出来。相反如果被检部件上的漏孔很大，封入的示踪气体很快就泄漏，因而在放置较长时间后亦不易检测出来。可见，采用示踪气体封入法用检漏仪检漏时，应随封随检。
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