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关于氨质谱检漏仪灵敏度的定义，在世界各国还不很一致。中国基本上都是用最小可检泄漏率来表示的。
氨质谱检漏仪的灵敏度，即最小可检泄漏率，就是在仪器处于最佳工作条件下，以0.1MPa的纯氦为示漏气体，进行动态检漏时所能检出的最小漏孔的泄漏率。所谓“最佳工作条件”系指被检件出气很少，且没有较大漏孔，同时仪器本身的参数是调整到最佳工作状态等条件;所谓“动态检漏”即指检漏时不用累积法，检漏仪本身的真空系统仍在正常抽气，仪器的反应时间不大于3s(其中真空系统的时间常数不大于ls)等情况;所谓“最小可检”是指信号是本底噪声的两倍;所说的“泄漏率”系指0.1MPa的干燥空气通过漏孔漏向真空端(压力远比0.1MPa低)的泄漏率。氦质谱检漏仪吸嘴法的灵敏度约为l0-9cm3/s。
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