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在真空设备使用运行阶段，时常出现设备气密性下降，总体漏率上升的情况，这种情况下就需要检漏仪器的帮助了，并且是影响真空设备正常工作的主要原因。造成这种现象的原因包括：机械振动造成连接部位松动;经常拆卸部位的密封圈可能损坏或安装不正确;由于冷、热冲击而发生变形和疲劳破坏;某些部件或材料因受工作介质的腐蚀而破坏;某些原本被水、油或其他脏物堵塞的漏孔重新疏通;以及应力集中而造成裂纹等。
正确使用真空设备，应该将检漏工作纳入真空设备日常维护、管理规范之中，例如定期做静态升压检测实验。操作人员发现设备气密性下降应及时解决，根据其设备使用情况和故障现象来分析泄漏原因，并采取适当的检漏手段，检出漏孔位置，及时修补。不要等到设备出现多种、多处泄漏，已经无法正常工作时再去检漏维修。另外，平时准备充足的密封备件，也要备好检漏仪器，定期(而不是出现问题后)更换易损件，也是做好真空检漏工作、保证设备正常运行的主要措施。
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