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电离真空计法是利用检漏仪中气体电离后产生的离子流大小来反映压力变化的，但是由于不同的气体电离电位不同，所以电离计的读数与气体的种类有关。因此，当将示漏物质施于可疑处时，如有漏孔，示漏物质将通过漏孔进入被检件中，引起气体成分改变，离子流就相应的发生变化，电离计的读数也将发生相应变化，从而指示出漏孔的位置，并可根据变化量的大小来估算出漏率的大小。其检漏的范围与电离真空计的工作压力范围是相同的。所选用的示漏物质及其检漏仪器检漏时应注意的问题与热传导真空计法相同。
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