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这种方法的响应时间约为2~3s，它主要包括两个方面：一是检漏器本身的响应时间;另一个是滞漏的氦气被吸入到检漏仪的响应时间。
各厂家生产的氦质谱检漏仪本身的响应时间基本相同。检测部分抽真空用真空泵的排气速度对响应时间影响很大。排气速度越小，氦气就越容易积蓄在被检件内，从而缩短响应时间。氦气从泄漏点流到吸入孔需要一定的时间，通常为1s左右。
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